半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高档次首测配合涉重废水处理——MVR直接巡环零排产品
項目的背景
半导体技术器件高首测的顶目,规模性150万m³/天,是正式启动半导体技术器件首测设施涉重废液零排的顶目。首测部门的镀镍、镀铜、引线框架的除垢会制造含镍含铜废液,开发区请求"无尾水外排",产水其他循环于产线。
水硬度特点与问题
废液以含镍相结合(浓硫酸浓度10–100毫克/升),伴大量铜、锌,pH下跌大(2–12),另外还有光刻胶留的大量有机的物。首测厂现场紧,规定清理配制征占小;零排含意着浓水不能够土石方太少,可以本机蒸馏晶粒开环。
鑫霖环保技术路线规划
整个走"分质收录 → 预加工处理除杂 → 生物滤渣除镍 → 油烟净化器 → UF+多级RO → MVR强迫无限循环蒸馏 → 冷凝剂水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢腐蚀钠转成Ni(OH)₂沉淀出的,后加加硫钠长度气体吸附残留镍(加硫镍Ksp比氢腐蚀镍更小,可以把镍压到0.1毫克/升下面);
积淀喷水经多物质脱水+安检员脱水后进UF,再进一个RO,产水一直回产线拆洗;
RO浓水(含盐+稳定度血本属)进MVR立即再巡环减压蒸馏器,立即再巡环能扛高含盐积垢,减压蒸馏器原有迅雷在线洁净,不会轻易堵;
MVR冷却水水回答回收鱼池,蒸馏残液委外焚烧炉或对于垃圾治理,整个的场区无等离子态外排。
关键所在机械设备优越性描述
MVR强制性反复往复相较于普通的降膜挥发掉,反复往复气速高、传热系数面难以结镍盐/碳酸盐垢,适当首测这"储水量并不大但水质标准杂"的情况;一体式化撬装定制占地赔偿比老式挥发掉塘+多效挥发掉工作方案小60%上;臭味侧相互配套怪物滤池,把改善池和淤泥间的臭味收集整理后分解成CO₂和水,防止首测厂紧挨着商务办公场所的刺激性气味客户投诉。
处里体验与管理效益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《电镀层造成的大气污染物的废气排放细则》表三;彻底150立米米/天产水循环于首测产线洗掉,用作等量鲜新水;危险废物(化掉残液+污泥处理)量比傳統"积淀+的废气排放"状态减约70%。对富士康侧,首测该项目生态环保运营卡点被揍通;