深圳某半导体设备外理器研发厂，晶圆外理时候中发生含硅、氟的层次性工业废水外理的方法，方案外理企业规模1200吨/日。工业废水外理的方法营养成分冗杂，包含有微米级硅粒状及盐酸，普通外理的方法易于考核标准。 生活污水材料及原因 常见污染问题物 ：氢氧化铁硅（100-500nm粒度分布）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 源于工步 ：晶圆刻蚀废气（45%）、CMP物理化学机械厂抛光剂废气（40%）、机械设备擦洗水（15%） 净化处理方法工作流程 科技创新用于"化学物质结晶+防化膜区分"技术工艺途径： 钙盐积淀 ：污泥脱水氯化钙出掉氟阳离子（添加CaF2沉积） 斜板沉淀池表现 ：pp斜管沉淀池剂达成溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜公款私存微细颗粒状 反进行渗透系统性 ：脱盐率>98%，二手回成品率75% 蒸发掉结晶体 ：浓水段体现氟化物临“0”排放出 终极功效 氟化物渗透压：<8mg/L（不超过一个国家1阶段规范标准10mg/L） 硅量：<5mg/L 水能源使用率：70%采用散热塔补充水分 垃圾减轻：蒸馏渣子量较民俗工艺技术减轻60%