某半导体芯片打造厂家因晶圆刷洗工艺技术产生含氨污废水 ,蓄水量200吨/天。污废水 中除高锰酸盐指数外还内含氟化物和轻微高价属,治理强度大。当地的排出规格条件高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废污水材料及起源
晶圆清理废渣(基本来源于):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀环节废水处理工艺:含少量铜、镍等天价属,pH值波动性大
CMP研磨设备废水处理:含硅颗粒肥料及高锰酸盐指数
处里制作工艺步骤
选择"化学式沉垫+膜脱离+折点氯化"组成加工制作工艺 :
预进行处理
:加药系统CaCl2除氟,设定pH在7.5-8.
反渗透膜系统化
:我们要除0.01μm以下粒状物
反渗透膜性浓缩液
:将氯离子原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以上的
折点氯化
:精准度管控氯加药系统量,将氯离子转成为离氮气
亚铁离子变换
:得到保障血本属符合标准
决定性效果好
氯离子维持<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属量不超过检查测量限
水造纸废水处理率达75%
飞灰出现量才能减少40%