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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生產线模块化的超注射用水系统的,一整天生产含硅电镀废水150吨。电镀废清水中虽无巨资属,但硅硫含量高易积灰,且电阻值率需高于18MΩ·cm才可以回收利用。原来的除理工学院艺难以具备新发布的《电商鑫霖环保水生态破坏物排污标准单位》(GB39731-2020)格外排污限制值。 工业废水成分表特殊性 大部分严重废水 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、粉末硅(孔径0.1-1μm) 非常规符合要求 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 水环境性能特点 :低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物形式繁多 净化处理加工过程操作流程 研发选用"梯级膜分割+电去化合物"三人组合方法: 微滤预净化处理 :1μm工业陶瓷膜屏蔽大颗料硅,通量能维持80LMH 铁离子交換硅橡胶 :D201大孔光敏树脂条件性吸咐硅酸碳原子 二次元RO设计 :首个段收购率60%,第二点段采用了高脱硼膜构件 EDI电去阳离子 :电流值密度计算公式2A/m²,延续清除的残留物铝离子 UV紫外线灭菌 :254nm分光光度计线分子量40mJ/cm² 技术性新亮点 搭建转用阻硅剂(生物碳胺类组合物),廷迟膜环境破坏过渡期3倍 EDI控制器研发流道结构设计,硅出掉率升级至99.8% 在线上硅定性检测仪(检测时间范围0.1-500μg/L)达成精准服务把控 使用作用 经第四方协议方的检测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L下降0.3μg/L 设计回笼率从原40%的提升至68% 膜换掉周期时间延缓至5年,年操作直接费用减低35%

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