该厂为8英尺晶圆生產线模块化的超注射用水系统的,一整天生产含硅电镀废水150吨。电镀废清水中虽无巨资属,但硅硫含量高易积灰,且电阻值率需高于18MΩ·cm才可以回收利用。原来的除理工学院艺难以具备新发布的《电商鑫霖环保水生态破坏物排污标准单位》(GB39731-2020)格外排污限制值。
工业废水成分表特殊性
大部分严重废水
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、粉末硅(孔径0.1-1μm)
非常规符合要求
:TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L
水环境性能特点
:低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物形式繁多
净化处理加工过程操作流程
研发选用"梯级膜分割+电去化合物"三人组合方法:
微滤预净化处理
:1μm工业陶瓷膜屏蔽大颗料硅,通量能维持80LMH
铁离子交換硅橡胶
:D201大孔光敏树脂条件性吸咐硅酸碳原子
二次元RO设计
:首个段收购率60%,第二点段采用了高脱硼膜构件
EDI电去阳离子
:电流值密度计算公式2A/m²,延续清除的残留物铝离子
UV紫外线灭菌
:254nm分光光度计线分子量40mJ/cm²
技术性新亮点
搭建转用阻硅剂(生物碳胺类组合物),廷迟膜环境破坏过渡期3倍
EDI控制器研发流道结构设计,硅出掉率升级至99.8%
在线上硅定性检测仪(检测时间范围0.1-500μg/L)达成精准服务把控
使用作用
经第四方协议方的检测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼含锌量从8μg/L下降0.3μg/L
设计回笼率从原40%的提升至68%
膜换掉周期时间延缓至5年,年操作直接费用减低35%